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              一鍵搞定硅外延裝備控制軟件升級
              發布時間:2017-07-20

              1. 硅外延裝備控制軟件

              硅外延裝備用于硅片的外延工藝處理,在給定的外延襯底上生成一層導電型、電阻率、厚度與晶格結構等都滿足嚴格要求的新單晶層,對后續工藝的順利進行和產品的質量有著至關重要的影響。硅外延裝備控制軟件是硅外延片生產制造的依托,軟件的不斷迭代更新,是提升軟件質量、提高設備穩定性和產能的重要途徑。


              2. 硅外延裝備軟件升級特點

              迭代更新后的軟件部署到設備上,即為軟件升級的過程。軟件升級需依次對軟件系統的各個組成元素進行更新,具體的更新項與軟件內部結構緊密相關。硅外延裝備的軟件由上位機控制軟件和下位機控制軟件共同組成,上/下位機軟件的組成元素包括可執行程序、配置文件和依賴環境這3部分,通過分別完成這3個部分的更新,即可完成軟件升級工作。


              3. 硅外延軟件現狀

              作為硅外延設備控制軟件,當前軟件升級的方式依舊采用“手動方式”,然而軟件中有大量的配置文件,這些配置文件為了保存設備關鍵參數,滿足設備控制的靈活性,以及實現軟件的可擴展性等多種目的而存在。這些配置文件通過人工校對和確認的方式完成升級。除去配置文件的升級,可執行程序和依賴環境也是通過人工拷貝、修改屬性的方式完成。一次軟件升級常需要2人協同,花費2小時以上的時間方能完成。這種“手工”方式導致軟件升級通常會出現升級耗時過長、升級后因配置文件導致軟件運行不穩定等問題,影響廠商的生產效率。


              4. 軟件升級自動化技術及優點

                經過對行業內軟件升級方式的持續調研,通過技術研發人員的不懈努力,軟件升級自動化技術得到了更多的推廣、應用。

                自動化的方法,簡單而言即是實現上/下位機軟件的3個組成元素的自動化升級。其中可執行程序的自動化升級較簡單,主要處理為備份原始文件和拷貝新程序。依賴環境的更新包括依賴庫和這些庫的配置屬性的更新,由于各次升級可能涉及不同的更新,因此可采用腳本的方式,滿足不同更新的自動化。

                首先使用XML統一各種格式的配置文件,XML格式的優勢在于計算機可以理解其文檔結構和各個元素(Item)。其次,為每個元素增加一個標記,使各個配置項彼此區分,可查找。最后,根據器件功能和設備狀態兩種類型分布實現不同的更新規則,從而實現配置文件的自動化更新。

              讓軟件升級實現自動化,可避免人為操作引入的錯誤,縮短升級耗時,為廠商提供更高效穩定的升級體驗。

              北方華創微電子   CVD BU

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